Quantum Global Technologies setzt zusammen mit SEMATECH neue Maßstäbe bei der Reinheit von Prozesskammerteilen, um die Prozessanforderungen bei der Wafer-Herstellung mit Strukturgrößen unter 20 nm zu erfüllen

-- QuantumClean® ist der erste Anbieter von ausgelagerten Reinigungsdiensten für Prozesskammerteile in der Halbleiterbranche, der sich mit SEMATECH zusammentut

QUAKERTOWN, Pennsylvania, 30. April 2014 /PRNewswire/ -- Quantum Global Technologies LLC, Muttergesellschaft der QuantumClean^®, der weltweit führende Anbieter von validierten, hochreinen, ausgelagerten Dienstleistungen in Zusammenhang mit der Reinigung, Oberflächenbehandlung, Wiederaufbereitung, Analyse und Technik bei Prozesskammerteilen für Halbleiter-, Solar- und LED-Hersteller, und ChemTrace^®, ein branchenweit anerkanntes und führendes Analyse-Prüflabor für Mikroverunreinigungen, haben heute eine Zusammenarbeit mit SEMATECH in Albany im US-Bundesstaat New York angekündigt. Dabei geht es um neue moderne Reinigungs- und Analysemethoden für Prozesskammerteile, um die Prozessanforderungen bei der Wafer-Herstellung mit Strukturgrößen unter 20 nm zu erfüllen.

Laut der Vereinbarung werden SEMATECH und QuantumClean gemeinsam neue Methodiken für die Reinigung von Prozesskammerteilen sowie Analysemethoden zu Partikeldetektion entwickeln, die jenseits der Möglichkeiten von heute liegen.

„Wir sind begeistert über unsere Partnerschaft mit SEMATECH", sagte Dr. Ardeshir Sidhwa, Senior Director of Innovation & Technology bei QuantumClean. „Wir arbeiten stetig an neuen Technologien und innovativen Lösungen für unsere Wafer- und OEM-Hersteller im Spitzenbereich.  Die Branche nähert sich Strukturgrößen von unter 10 nm. QuantumClean wird bereit sein für die Herausforderungen in Sachen Oberflächenbehandlung und Reinheit. Es wird möglich sein, Partikel und Verunreinigungen zu entfernen und zu messen, die weit über den Möglichkeiten von heute liegen", so Dr. Sidhwa weiter.

„QuantumClean ist der erste und einzige Anbieter von ausgelagerten Reinigungsdiensten für Prozesskammerteile in der Halbleiterbranche, der die Vision einer Zusammenarbeit mit SEMATECH hatte", sagte David Zuck, COO von Quantum Global Technologies.  „QuantumClean hat schon immer einen bedeutenden Anteil seines Gewinns in die Entwicklung von Technologien für die Teilereinigung und Analyse investiert, um den immer wachsenden Anforderungen der Spitzenindustrie im Bereich der Wafer- und OEM-Fertigung gerecht zu werden.  Bei der Fertigung mit Strukturgrößen unter 20 nm haben sich jedoch herkömmliche Methoden zur Teilereinigung und die entsprechende Metrologie als unwirksam erwiesen.  Durch unsere Partnerschaft mit SEMATECH, wo man bereits an Lösungen für Strukturgrößen von 11 nm und 7 nm arbeitet, können wir diese Herausforderungen bewältigen. QuantumClean wird dieses Knowhow zum Nutzen unserer Kunden in unser Geschäft einbringen", so Zuck weiter.

„Das Ziel bei SEMATECH ist der Bau der Infrastruktur, die für die erfolgreiche Implementierung zukünftiger Geräteknoten notwendig ist. Wir erforschen die Entstehung, Fortpflanzung, Entfernung und den Einfluss von Defekten, die von Geräten, Gerätekomponenten und Materialien verursacht werden, die bei modernen Halbleiterprozessen zum Einsatz kommen. So können diese Elemente der Lieferkette die schwierigen Anforderungen hinsichtlich Verunreinigungen bei zukünftigen Geräteknoten bewältigen", sagte Michael Lercel, Senior Director of Technology bei SEMATECH. „Mit QuantumClean als Partner erweitert SEMATECH seine Knowhow bei der Reinigung von Präzisionsteilen. Zugleich stärken wir damit unsere Forschungsanstrengungen und das Engagement von SEMATECH, um Herausforderungen bei Technologien der Zukunft auf den Grund zu gehen."

Informationen zu Quantum Global Technologies, LLC

QuantumClean^® und ChemTrace^® sind Geschäftsbereiche der Quantum Global Technologies LLC mit Hauptsitz im Großraum Philadelphia, Pennsylvania (USA).  

QuantumClean^® ist weltweit führender Anbieter von hochreinen, ausgelagerten Dienstleistungen für die Reinigung und Restaurierung von Prozesskammerteilen und Lösungen zur Verlängerung der Lebensdauer von Werkzeugteilen sowie Optimierung von Prozesskammerteilen. Das Unternehmen beliefert die Halbleiter-Wafer-Branche sowie die OEM- und OPM-Branchen.  QuantumClean wurde im Jahr 2000 gegründet und betreibt technisch innovative, sogenannte Advanced Technology Cleaning Centers^®, die den Kunden process improvement through consistently cleaner parts^® (Prozessverbesserung durch konsistent reinere Teile) bieten, die Branchenstandards übertreffen und die Gesamtbetriebskosten der Kunden deutlich reduzieren.  QuantumClean betreibt achtzehn Advanced Technology Cleaning Centers^® in neun Ländern und bietet damit unübertroffene Reinigungsmöglichkeiten und Komfort weltweit. 

ChemTrace^® ist ein anerkanntes, führendes Analyse-Prüflabor, das hauptsächlich der Halbleiter-, Solar- sowie verwandten Branchen Antworten und Lösungen für die Kunden anbietet, die Probleme mit Mikroverunreinigungen haben. ChemTrace^® wurde 1993 gegründet und bietet auch unabhängige analytische Tests für die Reinigungswirkung bei Prozesskammerteilen für viele der Spitzenkunden von QuantumClean aus den Bereichen Halbleiter-Herstellung, OEM und OPM mit hohen Reinigungsansprüchen.

Weitere Informationen über QuantumClean^® und ChemTrace^® finden Sie auf der jeweiligen Website www.quantumclean.com und www.chemtrace.com.

Pressekontakt
QuantumClean^® : Clara Lummus, +1-215-892-9305, [email protected]     
ChemTrace^® : Robin Puri, +1-503- 251-0979, [email protected]

Informationen zu Sematech
Seit über 25 Jahren gibt SEMATECH^®, das internationale Konsortium führender Hersteller von Halbleiterkomponenten und -materialien, weltweit die Richtung vor, stellt Weichen für flexible Zusammenarbeit und errichtet Brücken zwischen F&E und Produktion. Durch unser unerschöpfliches Engagement bei der Förderung der Zusammenarbeit in der Nanoelektronikbranche helfen wir unseren Mitgliedern und Partnern dabei, auf kritische Branchenumschwünge zu reagieren, einen technischen Konsens zu erzielen, Forschung in den Branchen-Mainstream einzubringen, die Fertigung produktiver zu machen und Risiken und Vorlaufzeiten zu reduzieren. Informationen über SEMATECH finden Sie unter http://www.sematech.org.