LumaSense Technologies stellt bahnbrechende Lösung für die Temperaturmessung vor, die nie dagewesene Steigerung der Produktivität und Effizienz bei MOCVD-Prozessen in der LED-Produktion bedeutet

- Neue UV-Pyrometrietechnologie vom führenden Unternehmen der Branche der Temperaturfühlung

SANTA CLARA, Kalifornien, 21. Dezember 2012 /PRNewswire/ -- LumaSense Technologies, Inc. hat die Pyrometer UV 400 und UVR 400 herausgebracht, die neuste Generation berührungsfreier Temperaturmessgeräte für Prozesse der Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) in der schnell wachsenden LED-Industrie. LEDs sind auf dem Weg, im Jahr 2020 das führende Produkt in der Lichtbranche zu werden, deren Umsatz 60 Milliarden US-Dollar beträgt. LEDs sind entscheidend als Lichtquellen für Mobilgeräte, Fernseher und weitere Produkte in der wachsenden Elektronikbranche, deren Umsatz 1,2 Billionen Dollar beträgt. UV 400 und UVR 400 sind auf einzigartige Weise in der Lage, Herstellern, die MOCVD-Verfahren nutzen, bei der LED-Produktion zu verbesserter Effizienz und verringertem Ausschuss zu verhelfen.

Die Pyrometer nutzen eine zentrale Wellenlänge im UV-Spektrum (400 nm) und ermöglichen die Messung der echten Oberflächentemperatur der Wafer. Herkömmliche Pyrometer hingegen sind nur in der Lage, die Temperatur der Aufnehmer bzw. Taschen unter dem Wafer zu messen. Dies ermöglich akkurateste und wiederholbare Kontrolle der Wafertemperatur, die z. B. in der LED-Produktion für die endgültige Wellenlänge und die Herstellungsresultate entscheidend ist.

Die große Temperaturspanne von 650 bis 1300 Grad Celsius ermöglicht die Messung verschiedenster Anwendungen wie des Wachstums der GaN-Pufferschicht oder der multiplen Quantenquelle. Die schnelle Reaktionszeit von bis zu 8 ms ermöglicht die Messung schnell ablaufender Prozesse. Instrumentierung für echte Photonenzählung garantiert die besten erreichbaren Werte beim Verhältnis Signal/Rauschen und der Stabilität.

Das Pyrometer UVR 400 verfügt gegenüber dem UV 400 über ein Laser-Reflektometer mit 635 nm, das die Echtzeit-Messung der Dicke und Wachstumsrate der GaN-Schicht beim Epitaxiewachstum ermöglicht.

„LumaSense hat in der Halbleiterbranche mehr als 8.000 Systeme im Einsatz und fast 2.000 MOCVD-Werkzeuge im Einsatz. Wir sind in diesem Bereich zweifellos eine führende Kraft bei Temperaturinstrumenten", sagte Brett Sargent, Vizepräsident und Geschäftsführer des Bereichs, Products & Solutions bei LumaSense Technologies Inc. „UV 400 und UVR 400 setzen jetzt den neuen weltweiten Standard bei MOCVD-Messgeräten. Die Instrumente haben belegt, dass ihre Temperaturmessungen eine verlässliche Korrelation zwischen der gemessenen Prozesstemperatur und der Wellenlänge des fertigen Produkts liefern. Dies wird unseren Kunden zu noch nicht dagewesenen Produktivitätszuwächsen und Effizienzverbesserungen verhelfen."

UV 400 und UVR 400 können zudem zusammen mit dem bewährten PhotriX-Pyrometer mit konzentrischem Lichtleiter von LumaSense genutzt werden, um zusätzlich die Reaktortemperatur zu kontrollieren. UV 400 und UVR 400 liefern allein oder zusammen mit dem PhotriX-Pyrometer die bestmöglichen Messdaten und Lösung zur Prozesskontrolle, wie auch die beste Produktqualität und gesteigerte Produktivität. 

Über LumaSense Technologies™

LumaSense Technologies, Inc. gehört zu den weltweit bewährtesten Lieferanten innovativer Geräte für Sensoren von Temperatur und Gas und von Systemen, Software und Plattformen industrieller Analyse, die für Kunden mit hohem Verbrauch in den weltweiten Branchen Energie, Industriematerialien und Hochtechnologie Ausschuss und Ineffizienzen finden, reduzieren und verhüten. Die Sensorsysteme LS6 und die Softwareprodukte der Klasse LumaSpec von LumaSense liefern einen industriellen „sechsten Sinn", mit dem unsere Kunden überproportionale Leistungssteigerungen umsetzen können.

LumaSense verfügt über Niederlassungen in Asien, Europa und Amerika. Wir zählen mehr als 2.000 der größten Unternehmen der Welt in über 85 Ländern zu unseren Kunden. Weitere Informationen über LumaSense Technologies finden Sie unter: www.lumasenseinc.com.

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