ERS electronic stellt ProbeSense™ vor, ein hochmodernes Messgerät für die automatische Temperaturkalibrierung beim Wafertest

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May 25, 2022, 10:25 ET

MÜNCHEN, 25. Mai 2022 /PRNewswire/ -- ERS electronic, der Branchenführer auf dem Markt für Wärmemanagementlösungen für die Halbleiterfertigung, hat ein Temperaturkalibrierungsgerät entwickelt, das automatische und hochpräzise Messungen unter 30 mK im eigentlichen Messbereich ermöglicht.

ProbeSense: ProbeSense™ is calibrated according to ISO 17025 and traceable to ITS90

Das zum Patent angemeldete Gerät mit dem treffenden Namen ProbeSense™ besteht aus einem Temperatursensor, der in der Position der Sondenkarte an der Sonde angebracht ist. Unter Ausnutzung der XYZ-Bewegungsfähigkeit des Probers kann der Sensor die Temperatur an mehreren Punkten der Waferoberfläche unter den gleichen Bedingungen wie beim Wafer-Probing messen. ProbeSense™ wird mit Adapterplatten für den Prober Ihrer Wahl geliefert und ist somit mit allen Wafer-Probern in der Halbleiterindustrie kompatibel. Im ProbeSense™-Paket enthalten ist auch ein Temperaturmessgerät, das zusammen mit dem Sensor im mK-Bereich kalibriert wurde.

Durch die Integration der ProbeSense™-Software von ERS in das Prüfgerät kann der Prozess vollständig automatisiert werden, so dass ein Prüfskript für mehrere Punkte und bei mehreren Temperaturen auf dem Spannfutter ausgeführt werden kann, ohne dass ein Bediener erforderlich ist. MPI Corporation ist der erste Prober-Hersteller, der diese Zusatzfunktion in seinen Sondierungsstationen anbietet.

„ProbeSense™ erfüllt den Bedarf an einem robusten, hochpräzisen und benutzerfreundlichen Kalibrierungswerkzeug", sagt Klemens Reitinger, CTO von ERS electronic. „Wir glauben, dass die automatisierungsmöglichkeiten, die derzeit von mehreren Proberherstellern integriert werden s integriert wird, ein entscheidender Faktor für die genaue Kalibrierung und die Messung der Temperaturgleichmäßigkeit sein wird."

„MPI Corporation sieht einen klaren Vorteil in der Integration von ProbeSense™ für die Kalibrierung von Thermofuttern in die SENTIO® Prober control Software Suite. Das vollautomatische Verfahren bietet eine intuitive Bedienung und schnelle Ergebnisse, indem es die Nacht oder das Wochenende für die Kalibrierung nutzt, wodurch keine wertvolle Testzeit geopfert werden muss", sagt Stojan Kanev, General Manager von Advanced Semiconductor Test bei MPI Corporation. „Indem wir unseren Kunden diese Möglichkeit bieten, kommen wir ihrer Nachfrage nach einer kosten- und zeiteffizienten Lösung für die thermische Kalibrierung entgegen

ProbeSense™ von ERS kann ab sofort bestellt werden.

Informationen zu ERS:

Die ERS electronic GmbH produziert seit mehr als 50 Jahren innovative thermische Testlösungen für die Halbleiterindustrie. Das Unternehmen hat sich mit seinen schnellen und präzisen luftgekühlten Wärmespeichersystemen für Temperaturen von -65 °C bis +550 °C für analytische, parameterbezogene und fertigungstechnische Tests einen hervorragenden Ruf erworben.

Video: https://www.youtube.com/watch?v=YuJksH8uOQY
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